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光學(xué)微電子凈化工程-潔凈車間技術(shù)解決方案
光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。
光學(xué)微電子凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息)
4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)
材料
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
光學(xué)微電子凈化工程解決方案:
凈化工程的設(shè)計(jì)過程中,應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況,同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力,綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,這樣才可設(shè)計(jì)出一個(gè)能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。
1、組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口
這是一個(gè)最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
優(yōu)點(diǎn):
A.空氣處理效果好,因空氣經(jīng)過集中處理,在送風(fēng)過程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確;
B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;
C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨(dú)立冷熱源;
D.維修頻率較低;
E.車間的噪音低。
缺點(diǎn):
A.需要有配套的冷凍機(jī)房或有放置熱泵機(jī)組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機(jī)組的空調(diào)機(jī)房,如25000m3/h的組合式空氣處理機(jī)組,常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對(duì)于舊廠房改造項(xiàng)目來說比較困難空出一個(gè)20-30┫的機(jī)房的;
B.造價(jià)高。
特點(diǎn):
A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);
B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬級(jí)、十萬級(jí)等較低的凈化無塵廠房。
2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口
與前種方案比較,這是相對(duì)比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積,水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房內(nèi)或凈化車間內(nèi),增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。
優(yōu)點(diǎn):
A.空氣處理效果較好的,處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;
B.布置靈活。自帶冷源;
C.大小廠房、新舊廠房都適用;
D.維修頻率較低;
E.車間噪音低。
缺點(diǎn):
A.需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;
B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置;
C.造價(jià)較低。特點(diǎn):這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)等的凈化無塵廠房。
廈門量典凈化工程有限公司,專注廈門凈化工程、無塵車間、凈化車間、潔凈工程、凈化工程、無塵室、凈化房、潔凈室
光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。
光學(xué)微電子凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息)
4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)
材料
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
光學(xué)微電子凈化工程解決方案:
凈化工程的設(shè)計(jì)過程中,應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況,同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力,綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,這樣才可設(shè)計(jì)出一個(gè)能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。
1、組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口
這是一個(gè)最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
優(yōu)點(diǎn):
A.空氣處理效果好,因空氣經(jīng)過集中處理,在送風(fēng)過程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確;
B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;
C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨(dú)立冷熱源;
D.維修頻率較低;
E.車間的噪音低。
缺點(diǎn):
A.需要有配套的冷凍機(jī)房或有放置熱泵機(jī)組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機(jī)組的空調(diào)機(jī)房,如25000m3/h的組合式空氣處理機(jī)組,常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對(duì)于舊廠房改造項(xiàng)目來說比較困難空出一個(gè)20-30┫的機(jī)房的;
B.造價(jià)高。
特點(diǎn):
A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);
B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬級(jí)、十萬級(jí)等較低的凈化無塵廠房。
2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口
與前種方案比較,這是相對(duì)比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積,水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房內(nèi)或凈化車間內(nèi),增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。
優(yōu)點(diǎn):
A.空氣處理效果較好的,處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;
B.布置靈活。自帶冷源;
C.大小廠房、新舊廠房都適用;
D.維修頻率較低;
E.車間噪音低。
缺點(diǎn):
A.需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;
B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置;
C.造價(jià)較低。特點(diǎn):這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)等的凈化無塵廠房。
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