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凈化工程安裝標(biāo)準(zhǔn)大全（廈門量典專業(yè)無塵車間）
2019-04-09
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676個贊 我國凈化工程行業(yè)，目前正值推廣階段。近些年來，各大城市主要陸續(xù)新建、改建，增設(shè)或改造了原有的凈化系統(tǒng)，這是我國經(jīng)濟(jì)發(fā)展、科技進(jìn)步和醫(yī)療衛(wèi)生水平提高的反映。新建、改建凈化工程，改善生產(chǎn)環(huán)境，提高工作效率，是一件很慎重的工作。而不論什么行業(yè)對產(chǎn)品的質(zhì)量，環(huán)境的潔凈都是越來越嚴(yán)格的，潔凈室凈化工程也將深入各行各業(yè)，這是發(fā)展趨勢。目前凈化工程行業(yè)涉及如下：
微電子 日用化妝品 印刷包裝 光學(xué)光電 化學(xué) 生物制藥 醫(yī)療器械 潔凈手術(shù)室 航空航天 涂裝涂料 文物庫房
電子行業(yè)：精密儀器 手機(jī)背光源 芯片生產(chǎn)、集成電路無塵室 汽車制造 磁盤制造車間等
食品行業(yè)：奶制品 果汁 鹽類 釀酒廠 肉類加工 烘焙面包房 檳榔廠 海鮮 調(diào)料包等
日用化妝品行業(yè)：紙類 護(hù)膚品 化妝品 日常洗衣用品等
印刷包裝行業(yè)：精密技術(shù)印刷廠 高檔禮品包裝 高檔煙酒、進(jìn)口及高檔轎車等
光學(xué)光電行業(yè)：半導(dǎo)體激光器 led/lcd照明 液晶顯示 led芯片 納米加工 光學(xué)玻璃
紅外傳感器 激光雷達(dá)技術(shù) 發(fā)光二極管等 集成電路
化學(xué)行業(yè)：實驗室 鉛酸蓄電池 電容器 無線充電技術(shù)等 電鍍 塑料化工
生物制藥：制藥廠 無菌繁殖
醫(yī)療器械：醫(yī)療設(shè)備 手術(shù)室
文物庫房：博物館 文物房
涂裝涂料：納米功能涂料 建筑涂料涂裝 噴涂車間 家具烤漆房
一、安裝工程標(biāo)準(zhǔn)施工要求
隱蔽工程- - 給排水工藝
潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝對環(huán)境有較高的要求,需要對其生產(chǎn)車間的空氣懸浮粒子濃度進(jìn)行控制,同時,還需保證一定的溫度、濕度和壓力,為此,除了合理的工藝布局,恰當(dāng)?shù)氖覂?nèi)裝修，配套的安裝工程設(shè)計亦至關(guān)重要,給排水工程設(shè)計就是其中一個重要的環(huán)節(jié),現(xiàn)筆者結(jié)合多年藥廠給排水設(shè)計及施工現(xiàn)場服務(wù)經(jīng)驗,談?wù)剝艋こ虄?nèi)的給排水設(shè)計。
1、 系統(tǒng)的布置
為保證生產(chǎn)水質(zhì)不被其它給水系統(tǒng)污染,潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)按照生產(chǎn)、生活、消防等用途不同,應(yīng)分別設(shè)置,其中,生產(chǎn)用水又可按生產(chǎn)線的數(shù)量,分別布置,建議每條生產(chǎn)線給水系統(tǒng)的起端均設(shè)置檢修閥門及計量水表,以便檢修和成本核算。 另外,考慮到潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝技術(shù)發(fā)展迅速,產(chǎn)品升級換代快,生產(chǎn)工藝變化多等特點,在管道設(shè)計中應(yīng)留有充分的余量。
2、 管材的選用
潔凈廠房的生產(chǎn)給水管傳統(tǒng)的管材,一般采用鍍鋅鋼管,考慮到潔凈環(huán)境下,所選管材應(yīng)有較好的化學(xué)穩(wěn)定性,以保證水質(zhì)在輸送過程中下降最小;以及管道的內(nèi)外壁應(yīng)盡量光潔,管道及管件的接頭處應(yīng)有較好的平整度,以保證水流有較好的水力性能,以及降低微粒的沉積和微生物的繁殖,建議潔凈廠房給水管材采用聚丙烯(PP)管或不銹鋼管。
排水管材的選擇,應(yīng)針對排水的水質(zhì)特點選用,一般原則是:在連續(xù)排水溫度低于 40℃時,選用聚氯乙烯(UPVC)排水管,該管材具有化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),水力性能好的優(yōu)點;在連續(xù)排水溫度介于 40～80℃時,建議采用既具有較高耐溫性能,又有較好水力性能及化學(xué)穩(wěn)定性的璃纖增強(qiáng)聚丙烯排水管;連續(xù)排水溫度高于 80℃時,采用排水鑄鐵管,但應(yīng)注意防腐處理。
3、 管道的敷設(shè)
潔凈廠房內(nèi)管道的敷設(shè)方式直接影響潔凈室的空氣潔凈度,因此管道應(yīng)盡量在潔凈室外
敷設(shè),最大限度地減少潔凈室內(nèi)的管道,通常是各種給排水干管布置在技術(shù)夾層、技術(shù)豎井、地溝管槽內(nèi)或直接地下埋設(shè),特別是有上下夾層的潔凈廠房,給排水干管大都設(shè)在下夾層內(nèi)。對于穿過潔凈室無法暗裝的給排水立管及消防栓,應(yīng)盡量在凈化區(qū)墻角處敷設(shè),并應(yīng)采用彩鋼板包嵌,陰陽角均做成圓弧角,以免積灰。為防止?jié)崈羰彝馕磧艋諝鉂B入室內(nèi),同時也為了防止?jié)崈羰覂?nèi)的潔凈空氣向外滲漏,造成能量的浪費(fèi),甚至影響室內(nèi)的潔凈度,給排水管道穿過潔凈室墻壁、樓板和頂棚時,應(yīng)設(shè)套管,套管內(nèi)管段不得有接頭,管道和套管之間必須用不起塵的密封材料封閉。 在實在無法做套管的部位,必須采取嚴(yán)格的密封措施,主要的密封方法有微孔海綿、有機(jī)硅橡膠、橡膠圈及環(huán)氧樹脂冷膠等。
4、衛(wèi)生設(shè)備的設(shè)置
手是交叉污染的媒介,工作人員在接觸工作服之前應(yīng)洗手,洗手的龍頭不應(yīng)直接用手開啟,可采用感應(yīng)式或肘式洗手龍頭。 洗凈的手不可用普通毛巾擦抹,因為普通毛巾易產(chǎn)生纖維塵,最好的辦法是熱風(fēng)吹干,所以洗手室不但要設(shè)置洗手盆,而且還需設(shè)置烘手器。潔凈區(qū)內(nèi)設(shè)置廁所不僅容易使?jié)崈羰沂艿轿廴?還會影響潔凈區(qū)的壓力控制,所以有空氣潔凈度要求的生產(chǎn)區(qū)內(nèi)不宜設(shè)廁所。 廁所宜設(shè)在盥洗室之前,且?guī)鶓?yīng)有前室,前室還應(yīng)設(shè)置供人員入廁穿用的套鞋。 廁所內(nèi)衛(wèi)生潔具為便于沖洗,還應(yīng)采用白陶瓷制品,不得用水磨石或水泥制作。
5、排水設(shè)備附件及小型排水構(gòu)筑物
對于跨度較大的潔凈廠房,其生產(chǎn)排水橫管往往較長,超過了規(guī)范允許的最大長度,為了清通方便,往往在排水橫管上,每隔一定距離設(shè)一清掃口,清掃口盡量設(shè)在非凈化區(qū),如不能避免要在凈化區(qū)設(shè)置,清掃口要選用易清潔的全銅制品。 潔凈室盡量不設(shè)地漏,若工藝需要設(shè)置,亦盡量少設(shè),且應(yīng)選用材質(zhì)不易腐蝕,內(nèi)表面光潔,不易結(jié)垢,有密封蓋,開啟方便,能防止廢水廢氣倒灌的潔凈地漏。另外,為了順利收集排水,保持地面清潔,地漏的頂面標(biāo)高應(yīng)低于周圍地面 5～10mm。
為了防止通風(fēng)系統(tǒng)正常工作時,室內(nèi)潔凈空氣通過排水管向外滲漏;而當(dāng)通風(fēng)系統(tǒng)停止工作時,室外非潔凈空氣向室內(nèi)倒灌,影響潔凈室的潔凈度、溫濕度,并消耗潔凈室的能量,與排水管相連的各個排水點均應(yīng)設(shè)水封裝置,水封深度不得小于 50mm 。 這是維持潔凈室內(nèi)各項技術(shù)指標(biāo)的一個重要措施。為了進(jìn)一步防止這一現(xiàn)象的發(fā)生,同時也為防蟲防鼠,潔凈區(qū)排水出戶管末端在接到室外檢查井之前,往往還增設(shè)水封井。
6、 循環(huán)水系統(tǒng)
為了保護(hù)水資源以及降低生產(chǎn)成本,用于生產(chǎn)設(shè)備的冷卻水,其使用前后,除了出水水溫有了較大的提高,水質(zhì)變化不大,經(jīng)冷卻塔降溫處理后,可重復(fù)使用。 需要指出的是,由于循環(huán)冷卻水在循環(huán)過程中會產(chǎn)生蒸發(fā)、 風(fēng)吹等水量損失,造成了水的濃縮,含鹽量增加,直至沉積;以及水中微生物繁殖和塵埃懸浮物、 腐蝕剝落物及其它雜質(zhì),形成沉積物,為提高設(shè)備熱交換率及延長設(shè)備壽命,循環(huán)冷卻水需進(jìn)行水質(zhì)處理。
二、安裝管理程序
1 無塵車間潔凈室施工管理制度
1．1 背景
1．1．1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。 為了保證項目的成功， 現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。
1．1．2 圖紙上對于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內(nèi)的地方。
1．1．3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內(nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。
1．2 責(zé)任與義務(wù)
1．2．1 所有承包商有責(zé)任確保他們的工人都了解這些規(guī)則和程序，并且在他們疏于遵從或違反時給予培訓(xùn)和訓(xùn)練。 被分配到潔凈建設(shè)區(qū)域的每位工人有責(zé)任和義務(wù)理解并遵守潔凈建設(shè)規(guī)則和程序。
1．2．2 承包商負(fù)責(zé)執(zhí)行潔凈室草案。他將每天對潔凈建設(shè)區(qū)域進(jìn)行檢查，并填寫檢查清單。承包商負(fù)責(zé)提供潔凈室所需物品，例如：鞋套，毛巾，墊子和工裝。他也負(fù)責(zé)提供每日執(zhí)行潔凈規(guī)則和程序的人員和設(shè)備。
1．2．3 承包商建造區(qū)域入口并對其進(jìn)行管理。他提供清洗晾曬每個入口處鞋、外套和衣服的清洗店。 他將對在潔凈區(qū)域工作的人員進(jìn)行培訓(xùn)， 并維護(hù)被允許在此區(qū)域工作的人員身份認(rèn)定和管理。
1．2．4 開始階段，承包商應(yīng)在每個入口處安排人員（除非半導(dǎo)體公司在該入口處安排有人員）以確保本規(guī)則和程序的執(zhí)行。
1．2．5 重復(fù)違反規(guī)則和程序的人員將被開除。沒有貫徹執(zhí)行本規(guī)則和程序的供應(yīng)商將被除名。
三、設(shè)備安裝
凈化設(shè)備
1、風(fēng)淋室
風(fēng)淋室是現(xiàn)代工業(yè)潔凈廠房中必不可少的潔凈配套設(shè)備， 它能去除人和物表面的塵埃， 同時又對風(fēng)淋室兩側(cè)的潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)起到了緩沖與隔離的作用。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于食品、 醫(yī)藥、生物工程及精密電子等領(lǐng)域。風(fēng)淋室分為“普通型和聯(lián)鎖型”兩類：普通型采用手動啟動吹淋的控制方式，個別操作者會選擇“不經(jīng)過吹淋就離開”的逃避方式。這使得潔凈區(qū)的空氣潔凈度難以保證。甚至可能會影響到產(chǎn)品質(zhì)量。潔凈室內(nèi)，在動態(tài)情況下，細(xì)菌及塵埃的最大發(fā)生源是操作者， 當(dāng)操作者進(jìn)入潔凈室之前， 必須用潔凈空氣吹淋其衣服表面附著的塵埃顆粒
2、高效送風(fēng)口
本產(chǎn)品為萬級，十萬級亂流潔凈室新建，改建工程凈化空調(diào)系統(tǒng)終端送風(fēng)裝置?？蓮V泛應(yīng)用與電子工業(yè)，精密機(jī)械，冶金，化工等工業(yè)及醫(yī)療，制藥，食品等部門的凈化空調(diào)系統(tǒng)。 本裝置主要由靜壓箱，高效過濾器，鋁合金擴(kuò)散板，標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口等組成，造型美觀，結(jié)構(gòu)簡單，使用可靠。 本送風(fēng)口為下裝式，具有在潔凈室內(nèi)安裝和更換過濾器方便的優(yōu)點，高效過濾器采用機(jī)械壓緊或液槽密封裝置，確保風(fēng)口安裝無泄露，密封可靠，凈化效果好
3、傳遞窗
傳遞窗主要適用于潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間， 或潔凈室與潔凈室之間的小貨物傳遞， 可有效的減少潔凈室門的開啟次數(shù)，把潔凈區(qū)的污染減少的最低程度。根據(jù)使用要求，傳遞窗箱體表面可噴塑，內(nèi)膽可用不銹鋼，外表美。
4、潔凈工作臺
無塵車間內(nèi)的潔凈工作臺可根據(jù)產(chǎn)品要求或其他用途的要求， 在操作臺上保持高潔凈度的局部凈化。潔凈工作臺可以在操作臺的局部空間形成無菌、無塵的局部凈化，其主要組成部件有預(yù)過濾器、高效過濾器、風(fēng)機(jī)機(jī)組、外殼、靜壓箱、臺面和配套的電器元器件等。無塵車間的潔凈工作臺的構(gòu)造要求：臺面，采用木質(zhì)塑料貼面貼于層壓板上做成臺面，或采用不銹鋼做臺面； 箱體， 用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形， 可采用冷軋薄板折邊搭接， 大電流電焊，內(nèi)表面需粘貼消聲材料，最大尺寸應(yīng)以通過一般房門為宜；箱體密封，所有縫隙均采用密封膠密封；操作區(qū)截面應(yīng)盡可能與空氣過濾器送風(fēng)截面相同，盡量減少盲區(qū)；風(fēng)機(jī)、電機(jī)， 選用高壓低噪的小型風(fēng)機(jī)，風(fēng)機(jī)與箱體的連接采用軟連接，電機(jī)及風(fēng)機(jī)均應(yīng)采取減振措施； 燈罩，日光燈要盡量設(shè)置在燈罩內(nèi)，燈罩內(nèi)要通過潔凈氣流；預(yù)過濾器，須設(shè)置預(yù)過濾器， 容量要大，在使用風(fēng)量下，初阻力宜小于 50Pa；高效過濾器，盡量采用大面積的過濾器，減少空氣過濾器的數(shù)量，過濾器與框架之間的密封應(yīng)采用封導(dǎo)結(jié)合的雙環(huán)密封系統(tǒng)。
5、FFU 風(fēng)機(jī)過濾單元
FFU 為英文縮寫，全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為“風(fēng)機(jī)濾器單元（機(jī)組）”，也稱空氣過濾單元。 風(fēng)機(jī)從 FFU 頂部將空氣吸入并經(jīng)初、 高效過濾器過濾， 它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級的潔凈室、 微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。 各凈化工程企業(yè)的 FFU 執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)略有不同，業(yè)內(nèi)通行的指標(biāo)為：過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以 0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出，但穩(wěn)定性差距很大。經(jīng)過實地檢測，國際品牌普遍難以適應(yīng)“中國環(huán)境因素”， 質(zhì)量雖然普遍高于國產(chǎn)公司， 但 1 年后的穩(wěn)定性測試普遍不理想； 而大部分國內(nèi)低端品牌的工程質(zhì)量也較差強(qiáng)人意。 凈化工程行業(yè)開始注重產(chǎn)品質(zhì)量與穩(wěn)定性的雙向驗收標(biāo)準(zhǔn)， 并逐步以實地檢測數(shù)據(jù)（之前多依靠行業(yè)報告）更真實的體現(xiàn)工程性價比.
6、層流罩
層流罩一種可提供局部高清潔環(huán)境的空氣凈化設(shè)備。它主要有箱體，風(fēng)機(jī)，初效空氣過濾器，高效空氣過濾器。阻尼層，燈具等組成，箱體噴塑或采用不銹鋼材料。該產(chǎn)品即可以懸掛，又可地面支撐，結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便。可以單個使用，也可多個聯(lián)接組成帶狀潔凈區(qū)域。
四、安裝地面工程
地面工程
1》PVC 地板
施工工藝：
1、清理地面，清除浮沉，定位鋪設(shè)基準(zhǔn)線
2、鋪拉接地倒網(wǎng)(銅箔)，涂刷導(dǎo)電膠
3、 鋪貼 PVC 地板，滾壓 PVC 地板
4、開 4mm 靜電接地.適用場所: 電子廠，半導(dǎo)體廠，光電產(chǎn)業(yè)，包裝品，機(jī)電房、汽車工業(yè)等 02 防靜電 PVC 地板 。
2》 高架地板
施工工藝:
1、在清潔的地面上劃線
2、支架橫梁裝配
3、調(diào)整橫梁水平、緊固螺釘
4、 鋪設(shè)活動地板
5、 施工完畢后清掃地板表面
適用場所: 電子廠，半導(dǎo)體廠，光電產(chǎn)業(yè)，機(jī)電房.恒溫恒室實驗室，百級無塵車間潔凈廠房等
3》 環(huán)氧樹脂自流平型地流
施工工藝:
1、打磨地面.清掃、吸塵
2、涂刷封閉底涂
3、刮膩子(中涂)
4、打磨、吸塵
5、自流平面
適用場所: 電子廠，電器廠，食品廠，化妝品廠，包裝廠，紡織廠，服裝廠等
4》 環(huán)氧樹脂防靜電自流平型
施工工藝：
1. 基材處理：打磨并清潔地面，要求基材干燥、無空鼓；
2.底涂涂裝：導(dǎo)電底涂涂裝；
3. 鋪設(shè)銅箔：橫豎交叉鋪設(shè)；
4、中涂涂裝：根據(jù)所落地面厚度鑷防靜電中涂；
5、面涂涂裝：鑊圖環(huán)氛防靜電自流平面漆。
適用場所: 適用于通訊設(shè)備制造廠、芯片制造廠、S 下 M 車間、光學(xué)儀器廠、實驗室等有較高防靜電要求的潔凈廠房。
微電子 日用化妝品 印刷包裝 光學(xué)光電 化學(xué) 生物制藥 醫(yī)療器械 潔凈手術(shù)室 航空航天 涂裝涂料 文物庫房
電子行業(yè)：精密儀器 手機(jī)背光源 芯片生產(chǎn)、集成電路無塵室 汽車制造 磁盤制造車間等
食品行業(yè)：奶制品 果汁 鹽類 釀酒廠 肉類加工 烘焙面包房 檳榔廠 海鮮 調(diào)料包等
日用化妝品行業(yè)：紙類 護(hù)膚品 化妝品 日常洗衣用品等
印刷包裝行業(yè)：精密技術(shù)印刷廠 高檔禮品包裝 高檔煙酒、進(jìn)口及高檔轎車等
光學(xué)光電行業(yè)：半導(dǎo)體激光器 led/lcd照明 液晶顯示 led芯片 納米加工 光學(xué)玻璃
紅外傳感器 激光雷達(dá)技術(shù) 發(fā)光二極管等 集成電路
化學(xué)行業(yè)：實驗室 鉛酸蓄電池 電容器 無線充電技術(shù)等 電鍍 塑料化工
生物制藥：制藥廠 無菌繁殖
醫(yī)療器械：醫(yī)療設(shè)備 手術(shù)室
文物庫房：博物館 文物房
涂裝涂料：納米功能涂料 建筑涂料涂裝 噴涂車間 家具烤漆房
一、安裝工程標(biāo)準(zhǔn)施工要求
隱蔽工程- - 給排水工藝
潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝對環(huán)境有較高的要求,需要對其生產(chǎn)車間的空氣懸浮粒子濃度進(jìn)行控制,同時,還需保證一定的溫度、濕度和壓力,為此,除了合理的工藝布局,恰當(dāng)?shù)氖覂?nèi)裝修，配套的安裝工程設(shè)計亦至關(guān)重要,給排水工程設(shè)計就是其中一個重要的環(huán)節(jié),現(xiàn)筆者結(jié)合多年藥廠給排水設(shè)計及施工現(xiàn)場服務(wù)經(jīng)驗,談?wù)剝艋こ虄?nèi)的給排水設(shè)計。
1、 系統(tǒng)的布置
為保證生產(chǎn)水質(zhì)不被其它給水系統(tǒng)污染,潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)按照生產(chǎn)、生活、消防等用途不同,應(yīng)分別設(shè)置,其中,生產(chǎn)用水又可按生產(chǎn)線的數(shù)量,分別布置,建議每條生產(chǎn)線給水系統(tǒng)的起端均設(shè)置檢修閥門及計量水表,以便檢修和成本核算。 另外,考慮到潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝技術(shù)發(fā)展迅速,產(chǎn)品升級換代快,生產(chǎn)工藝變化多等特點,在管道設(shè)計中應(yīng)留有充分的余量。
2、 管材的選用
潔凈廠房的生產(chǎn)給水管傳統(tǒng)的管材,一般采用鍍鋅鋼管,考慮到潔凈環(huán)境下,所選管材應(yīng)有較好的化學(xué)穩(wěn)定性,以保證水質(zhì)在輸送過程中下降最小;以及管道的內(nèi)外壁應(yīng)盡量光潔,管道及管件的接頭處應(yīng)有較好的平整度,以保證水流有較好的水力性能,以及降低微粒的沉積和微生物的繁殖,建議潔凈廠房給水管材采用聚丙烯(PP)管或不銹鋼管。
排水管材的選擇,應(yīng)針對排水的水質(zhì)特點選用,一般原則是:在連續(xù)排水溫度低于 40℃時,選用聚氯乙烯(UPVC)排水管,該管材具有化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),水力性能好的優(yōu)點;在連續(xù)排水溫度介于 40～80℃時,建議采用既具有較高耐溫性能,又有較好水力性能及化學(xué)穩(wěn)定性的璃纖增強(qiáng)聚丙烯排水管;連續(xù)排水溫度高于 80℃時,采用排水鑄鐵管,但應(yīng)注意防腐處理。
3、 管道的敷設(shè)
潔凈廠房內(nèi)管道的敷設(shè)方式直接影響潔凈室的空氣潔凈度,因此管道應(yīng)盡量在潔凈室外
敷設(shè),最大限度地減少潔凈室內(nèi)的管道,通常是各種給排水干管布置在技術(shù)夾層、技術(shù)豎井、地溝管槽內(nèi)或直接地下埋設(shè),特別是有上下夾層的潔凈廠房,給排水干管大都設(shè)在下夾層內(nèi)。對于穿過潔凈室無法暗裝的給排水立管及消防栓,應(yīng)盡量在凈化區(qū)墻角處敷設(shè),并應(yīng)采用彩鋼板包嵌,陰陽角均做成圓弧角,以免積灰。為防止?jié)崈羰彝馕磧艋諝鉂B入室內(nèi),同時也為了防止?jié)崈羰覂?nèi)的潔凈空氣向外滲漏,造成能量的浪費(fèi),甚至影響室內(nèi)的潔凈度,給排水管道穿過潔凈室墻壁、樓板和頂棚時,應(yīng)設(shè)套管,套管內(nèi)管段不得有接頭,管道和套管之間必須用不起塵的密封材料封閉。 在實在無法做套管的部位,必須采取嚴(yán)格的密封措施,主要的密封方法有微孔海綿、有機(jī)硅橡膠、橡膠圈及環(huán)氧樹脂冷膠等。
4、衛(wèi)生設(shè)備的設(shè)置
手是交叉污染的媒介,工作人員在接觸工作服之前應(yīng)洗手,洗手的龍頭不應(yīng)直接用手開啟,可采用感應(yīng)式或肘式洗手龍頭。 洗凈的手不可用普通毛巾擦抹,因為普通毛巾易產(chǎn)生纖維塵,最好的辦法是熱風(fēng)吹干,所以洗手室不但要設(shè)置洗手盆,而且還需設(shè)置烘手器。潔凈區(qū)內(nèi)設(shè)置廁所不僅容易使?jié)崈羰沂艿轿廴?還會影響潔凈區(qū)的壓力控制,所以有空氣潔凈度要求的生產(chǎn)區(qū)內(nèi)不宜設(shè)廁所。 廁所宜設(shè)在盥洗室之前,且?guī)鶓?yīng)有前室,前室還應(yīng)設(shè)置供人員入廁穿用的套鞋。 廁所內(nèi)衛(wèi)生潔具為便于沖洗,還應(yīng)采用白陶瓷制品,不得用水磨石或水泥制作。
5、排水設(shè)備附件及小型排水構(gòu)筑物
對于跨度較大的潔凈廠房,其生產(chǎn)排水橫管往往較長,超過了規(guī)范允許的最大長度,為了清通方便,往往在排水橫管上,每隔一定距離設(shè)一清掃口,清掃口盡量設(shè)在非凈化區(qū),如不能避免要在凈化區(qū)設(shè)置,清掃口要選用易清潔的全銅制品。 潔凈室盡量不設(shè)地漏,若工藝需要設(shè)置,亦盡量少設(shè),且應(yīng)選用材質(zhì)不易腐蝕,內(nèi)表面光潔,不易結(jié)垢,有密封蓋,開啟方便,能防止廢水廢氣倒灌的潔凈地漏。另外,為了順利收集排水,保持地面清潔,地漏的頂面標(biāo)高應(yīng)低于周圍地面 5～10mm。
為了防止通風(fēng)系統(tǒng)正常工作時,室內(nèi)潔凈空氣通過排水管向外滲漏;而當(dāng)通風(fēng)系統(tǒng)停止工作時,室外非潔凈空氣向室內(nèi)倒灌,影響潔凈室的潔凈度、溫濕度,并消耗潔凈室的能量,與排水管相連的各個排水點均應(yīng)設(shè)水封裝置,水封深度不得小于 50mm 。 這是維持潔凈室內(nèi)各項技術(shù)指標(biāo)的一個重要措施。為了進(jìn)一步防止這一現(xiàn)象的發(fā)生,同時也為防蟲防鼠,潔凈區(qū)排水出戶管末端在接到室外檢查井之前,往往還增設(shè)水封井。
6、 循環(huán)水系統(tǒng)
為了保護(hù)水資源以及降低生產(chǎn)成本,用于生產(chǎn)設(shè)備的冷卻水,其使用前后,除了出水水溫有了較大的提高,水質(zhì)變化不大,經(jīng)冷卻塔降溫處理后,可重復(fù)使用。 需要指出的是,由于循環(huán)冷卻水在循環(huán)過程中會產(chǎn)生蒸發(fā)、 風(fēng)吹等水量損失,造成了水的濃縮,含鹽量增加,直至沉積;以及水中微生物繁殖和塵埃懸浮物、 腐蝕剝落物及其它雜質(zhì),形成沉積物,為提高設(shè)備熱交換率及延長設(shè)備壽命,循環(huán)冷卻水需進(jìn)行水質(zhì)處理。
二、安裝管理程序
1 無塵車間潔凈室施工管理制度
1．1 背景
1．1．1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。 為了保證項目的成功， 現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。
1．1．2 圖紙上對于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內(nèi)的地方。
1．1．3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內(nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。
1．2 責(zé)任與義務(wù)
1．2．1 所有承包商有責(zé)任確保他們的工人都了解這些規(guī)則和程序，并且在他們疏于遵從或違反時給予培訓(xùn)和訓(xùn)練。 被分配到潔凈建設(shè)區(qū)域的每位工人有責(zé)任和義務(wù)理解并遵守潔凈建設(shè)規(guī)則和程序。
1．2．2 承包商負(fù)責(zé)執(zhí)行潔凈室草案。他將每天對潔凈建設(shè)區(qū)域進(jìn)行檢查，并填寫檢查清單。承包商負(fù)責(zé)提供潔凈室所需物品，例如：鞋套，毛巾，墊子和工裝。他也負(fù)責(zé)提供每日執(zhí)行潔凈規(guī)則和程序的人員和設(shè)備。
1．2．3 承包商建造區(qū)域入口并對其進(jìn)行管理。他提供清洗晾曬每個入口處鞋、外套和衣服的清洗店。 他將對在潔凈區(qū)域工作的人員進(jìn)行培訓(xùn)， 并維護(hù)被允許在此區(qū)域工作的人員身份認(rèn)定和管理。
1．2．4 開始階段，承包商應(yīng)在每個入口處安排人員（除非半導(dǎo)體公司在該入口處安排有人員）以確保本規(guī)則和程序的執(zhí)行。
1．2．5 重復(fù)違反規(guī)則和程序的人員將被開除。沒有貫徹執(zhí)行本規(guī)則和程序的供應(yīng)商將被除名。
三、設(shè)備安裝
凈化設(shè)備
1、風(fēng)淋室
風(fēng)淋室是現(xiàn)代工業(yè)潔凈廠房中必不可少的潔凈配套設(shè)備， 它能去除人和物表面的塵埃， 同時又對風(fēng)淋室兩側(cè)的潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)起到了緩沖與隔離的作用。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于食品、 醫(yī)藥、生物工程及精密電子等領(lǐng)域。風(fēng)淋室分為“普通型和聯(lián)鎖型”兩類：普通型采用手動啟動吹淋的控制方式，個別操作者會選擇“不經(jīng)過吹淋就離開”的逃避方式。這使得潔凈區(qū)的空氣潔凈度難以保證。甚至可能會影響到產(chǎn)品質(zhì)量。潔凈室內(nèi)，在動態(tài)情況下，細(xì)菌及塵埃的最大發(fā)生源是操作者， 當(dāng)操作者進(jìn)入潔凈室之前， 必須用潔凈空氣吹淋其衣服表面附著的塵埃顆粒
2、高效送風(fēng)口
本產(chǎn)品為萬級，十萬級亂流潔凈室新建，改建工程凈化空調(diào)系統(tǒng)終端送風(fēng)裝置?？蓮V泛應(yīng)用與電子工業(yè)，精密機(jī)械，冶金，化工等工業(yè)及醫(yī)療，制藥，食品等部門的凈化空調(diào)系統(tǒng)。 本裝置主要由靜壓箱，高效過濾器，鋁合金擴(kuò)散板，標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口等組成，造型美觀，結(jié)構(gòu)簡單，使用可靠。 本送風(fēng)口為下裝式，具有在潔凈室內(nèi)安裝和更換過濾器方便的優(yōu)點，高效過濾器采用機(jī)械壓緊或液槽密封裝置，確保風(fēng)口安裝無泄露，密封可靠，凈化效果好
3、傳遞窗
傳遞窗主要適用于潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間， 或潔凈室與潔凈室之間的小貨物傳遞， 可有效的減少潔凈室門的開啟次數(shù)，把潔凈區(qū)的污染減少的最低程度。根據(jù)使用要求，傳遞窗箱體表面可噴塑，內(nèi)膽可用不銹鋼，外表美。
4、潔凈工作臺
無塵車間內(nèi)的潔凈工作臺可根據(jù)產(chǎn)品要求或其他用途的要求， 在操作臺上保持高潔凈度的局部凈化。潔凈工作臺可以在操作臺的局部空間形成無菌、無塵的局部凈化，其主要組成部件有預(yù)過濾器、高效過濾器、風(fēng)機(jī)機(jī)組、外殼、靜壓箱、臺面和配套的電器元器件等。無塵車間的潔凈工作臺的構(gòu)造要求：臺面，采用木質(zhì)塑料貼面貼于層壓板上做成臺面，或采用不銹鋼做臺面； 箱體， 用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形， 可采用冷軋薄板折邊搭接， 大電流電焊，內(nèi)表面需粘貼消聲材料，最大尺寸應(yīng)以通過一般房門為宜；箱體密封，所有縫隙均采用密封膠密封；操作區(qū)截面應(yīng)盡可能與空氣過濾器送風(fēng)截面相同，盡量減少盲區(qū)；風(fēng)機(jī)、電機(jī)， 選用高壓低噪的小型風(fēng)機(jī)，風(fēng)機(jī)與箱體的連接采用軟連接，電機(jī)及風(fēng)機(jī)均應(yīng)采取減振措施； 燈罩，日光燈要盡量設(shè)置在燈罩內(nèi)，燈罩內(nèi)要通過潔凈氣流；預(yù)過濾器，須設(shè)置預(yù)過濾器， 容量要大，在使用風(fēng)量下，初阻力宜小于 50Pa；高效過濾器，盡量采用大面積的過濾器，減少空氣過濾器的數(shù)量，過濾器與框架之間的密封應(yīng)采用封導(dǎo)結(jié)合的雙環(huán)密封系統(tǒng)。
5、FFU 風(fēng)機(jī)過濾單元
FFU 為英文縮寫，全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為“風(fēng)機(jī)濾器單元（機(jī)組）”，也稱空氣過濾單元。 風(fēng)機(jī)從 FFU 頂部將空氣吸入并經(jīng)初、 高效過濾器過濾， 它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級的潔凈室、 微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。 各凈化工程企業(yè)的 FFU 執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)略有不同，業(yè)內(nèi)通行的指標(biāo)為：過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以 0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出，但穩(wěn)定性差距很大。經(jīng)過實地檢測，國際品牌普遍難以適應(yīng)“中國環(huán)境因素”， 質(zhì)量雖然普遍高于國產(chǎn)公司， 但 1 年后的穩(wěn)定性測試普遍不理想； 而大部分國內(nèi)低端品牌的工程質(zhì)量也較差強(qiáng)人意。 凈化工程行業(yè)開始注重產(chǎn)品質(zhì)量與穩(wěn)定性的雙向驗收標(biāo)準(zhǔn)， 并逐步以實地檢測數(shù)據(jù)（之前多依靠行業(yè)報告）更真實的體現(xiàn)工程性價比.
6、層流罩
層流罩一種可提供局部高清潔環(huán)境的空氣凈化設(shè)備。它主要有箱體，風(fēng)機(jī)，初效空氣過濾器，高效空氣過濾器。阻尼層，燈具等組成，箱體噴塑或采用不銹鋼材料。該產(chǎn)品即可以懸掛，又可地面支撐，結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便。可以單個使用，也可多個聯(lián)接組成帶狀潔凈區(qū)域。
四、安裝地面工程
地面工程
1》PVC 地板
施工工藝：
1、清理地面，清除浮沉，定位鋪設(shè)基準(zhǔn)線
2、鋪拉接地倒網(wǎng)(銅箔)，涂刷導(dǎo)電膠
3、 鋪貼 PVC 地板，滾壓 PVC 地板
4、開 4mm 靜電接地.適用場所: 電子廠，半導(dǎo)體廠，光電產(chǎn)業(yè)，包裝品，機(jī)電房、汽車工業(yè)等 02 防靜電 PVC 地板 。
2》 高架地板
施工工藝:
1、在清潔的地面上劃線
2、支架橫梁裝配
3、調(diào)整橫梁水平、緊固螺釘
4、 鋪設(shè)活動地板
5、 施工完畢后清掃地板表面
適用場所: 電子廠，半導(dǎo)體廠，光電產(chǎn)業(yè)，機(jī)電房.恒溫恒室實驗室，百級無塵車間潔凈廠房等
3》 環(huán)氧樹脂自流平型地流
施工工藝:
1、打磨地面.清掃、吸塵
2、涂刷封閉底涂
3、刮膩子(中涂)
4、打磨、吸塵
5、自流平面
適用場所: 電子廠，電器廠，食品廠，化妝品廠，包裝廠，紡織廠，服裝廠等
4》 環(huán)氧樹脂防靜電自流平型
施工工藝：
1. 基材處理：打磨并清潔地面，要求基材干燥、無空鼓；
2.底涂涂裝：導(dǎo)電底涂涂裝；
3. 鋪設(shè)銅箔：橫豎交叉鋪設(shè)；
4、中涂涂裝：根據(jù)所落地面厚度鑷防靜電中涂；
5、面涂涂裝：鑊圖環(huán)氛防靜電自流平面漆。
適用場所: 適用于通訊設(shè)備制造廠、芯片制造廠、S 下 M 車間、光學(xué)儀器廠、實驗室等有較高防靜電要求的潔凈廠房。
